火狐体育官网下载地址:国林科技：臭氧途径用于ALD先进制程较水蒸气有许多优势
来源：火狐体育官网下载地址 发布时间：2026-01-01 01:42:19请问现在ald的两种途径，一种是水蒸气作为氧源，一种是臭氧作为氧源，均为与tma前驱体反响完成薄膜堆积。现在干流传统是采纳水蒸气方法。请问公司所采纳的臭氧途径相较于水蒸气，有何
服务热线：010-82912186
火狐体育app官网:
请问现在ald的两种途径，一种是水蒸气作为氧源，一种是臭氧作为氧源，均为与tma前驱体反响完成薄膜堆积。现在干流传统是采纳水蒸气方法。请问公司所采纳的臭氧途径相较于水蒸气，有何优势？
敬重的投资者，您好。臭氧应用于ALD先进制程相较水蒸气长处是：薄膜纯度更高、杂质更少，致密度与均匀性更佳；低温适配性强，能浸透杂乱 3D 结构，且反响副产物无污染，可提高器材性能与出产功率，适配先进制程需求。感谢您的重视。