火狐体育官网下载地址:微导纳米请求用于臭氧气体运送体系的预处理办法专利提高臭氧运送体系的洁净水平缓工艺可靠性

  国家知识产权局信息数据显现，江苏微导纳米科技股份有限公司请求一项名为“用于臭氧气体运送体系的预处理办法”的专利，公开号CN121320912A，请求日期为2025年10月。

  专利摘要显现，本请求供给了一种用于臭氧气体运送体系的预处理办法，包含以下过程：a）对臭氧气体运送体系来进行惰性气体吹扫处理；b）对过程a）处理后的臭氧气体运送体系来进行多级臭氧气体吹扫处理；所述多级臭氧气体吹扫处理中臭氧气体的浓度逐级添加。本请求首要选用惰性气体对臭氧气体运送体系来进行吹扫处理，去除体系中残留的水分、氧气及微颗粒杂质，然后选用臭氧气体分阶段浓度梯度吹扫，逐渐钝化管壁内外表，削减氧化反响剧烈程度，操控颗粒开释，由此削减臭氧气体运送体系的颗粒开释、水分和氧残留、颗粒污染、腐蚀性反响、初始稳定性差及通流不接连等问题，提高臭氧运送体系的洁净水平缓工艺可靠性，满意高端半导体制作的严格要求。

  天眼查资料显现，江苏微导纳米科技股份有限公司，成立于2015年，坐落无锡市，是一家以从事专用设备制作业为主的企业。企业注册资本46115.7283万人民币。经过天眼查大数据分析，江苏微导纳米科技股份有限公司共对外出资了2家企业，参加招投标项目54次，产业线条，此外企业还具有行政许可69个。

  声明：商场有危险，出资需谨慎。本文为AI根据第三方数据生成，仅供参考，不构成个人出资主张。