火狐体育官网下载地址:国林科技：臭氧途径用于ALD先进制程较水蒸气有许多优势
请问现在ald的两种途径，一种是水蒸气作为氧源，一种是臭氧作为氧源，均为与tma前驱体反响完成薄膜堆积。现在干流传统是采纳水蒸气方法。请问公司所采纳的臭氧途径相较于水蒸气，有何
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查看详情 +国家知识产权局信息数据显现，深圳市昊立达科技有限公司请求一项名为“一种高速切开水分子团的无静电无臭氧负氧离子产生设备”的专利，公开号CN121230093A，请求日期为2025
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